1.真空發(fā)生器和真空泵的區(qū)別

真空發(fā)生器和真空泵的最大區(qū)別是在操作原理上。真空發(fā)生器是利用物理吸附、化學(xué)吸附、金屬表面互作用等方式來(lái)減壓的。而真空泵則是通過(guò)機(jī)械排氣和分子擴(kuò)散兩種途徑來(lái)實(shí)現(xiàn)減壓的。

2.真空發(fā)生器的工作原理

真空發(fā)生器工作時(shí)，將外部氣體抽入真空容器形成真空環(huán)境。其中，真空系統(tǒng)包含氣閥、真空傳感器、真空管路等組件。真空源則包括渦輪分子泵、離子泵、擴(kuò)散泵等。這些組成部分相互配合協(xié)同作用，形成一個(gè)可以控制氣體壓強(qiáng)的真空環(huán)境。

3.真空發(fā)生器的應(yīng)用領(lǐng)域

真空發(fā)生器廣泛應(yīng)用于各種科學(xué)實(shí)驗(yàn)、半導(dǎo)體加工、電子顯微鏡、光譜儀、涂層等領(lǐng)域。在這些應(yīng)用中，它常常作為核心組件來(lái)控制氣體環(huán)境，保證實(shí)驗(yàn)或加工的精度和可靠性。